«Скрытый стражей» за отечественным производством полупроводников: прямой доступ к электронным резервуарам Tapolon 

Во время ежегодной конференции SEMI (Международной ассоциации полупроводниковой промышленности) China Semiconductor 2023, выставка ультрачистых резервуаров PFA привлекла внимание к выставке Tepolon.Согласно отчету о контроле, предоставленному компанией, продукт использует сертифицированное швейцарское SGS сырье Daikin, после трех высокотемпературных спекаций, количество ионов PFA металла на внутренней стенке составляет ≤1,5 ppb (тестирование осуществляется в соответствии с SEMI F57-0318), в настоящее время используется в системе фоторезиста Sentor.Производственный цех достигает стандарта чистоты тысячи, перед выпуском каждого резервуара с завода необходимо пройти 72 часа масс-спектрометрическое измерение течи гелия, строго контролируется.